装置実績

ハンドリングの良さはピカイチで、基盤厚みを簡単に削れます。 バキュームチャック＝脱着を簡単に、高精度を誰にでも再現できます。

世界最大級の大型両面研磨機。
デカイだけではなく、緻密なコントロールが可能です。
ご要望があれば極限サイズまでチャレンジします！！

面修正機構を備え、超精密光学ピッチ研磨の要望にお答えします。
Ф3000UPまで対応可能です。

磨けば汚れます。
精密加工の仕上げ工程に卓上機からクリーンルーム仕様自動搬送機まで対応。ロボット搬送で自在な動きが可能。

コーティングで高付加価値を！！
その他、真空装置も製作します。