研磨装置

片面機　１５インチ ～ ３２インチ　

両面機　４B ～ １６B　　　　　　　

研削機　横型　　　　　　　　　　　

洗浄装置

揺動型　

固定型　

乾燥装置

温風乾燥炉　

スピン乾燥機　

測定装置

TROPEL FlatMaster FM200

KEYENCE マイクロスコープ VK-X200
    FUJIFILM レーザー干渉計
    Mitutoyo　SJ-410
    KEYENCE ハンディプローブ三次元測定機 XM
    各種顕微鏡